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工業(yè)檢測

晶圓缺陷檢測系統(tǒng)
納米張力硬度測量
三維形貌測量儀
工業(yè)檢測
各種晶圓（Si、SiC、GaN、InP、AlN、玻璃等）、玻璃基板、薄膜

晶圓自動缺陷檢測系統(tǒng) → 高倍率缺陷檢查 → 一機無縫實現(xiàn) 3D 形狀測量；基于共焦光學(xué)…

工業(yè)檢測
微小張力壓痕硬度測量儀

日本Elionix納米壓痕儀ENT-5，適應(yīng)于0.5uN-2000mN廣泛的材料硬度測量…

工業(yè)檢測
三維形貌測量儀

三維形貌測量儀NH系列，使用激光自動對焦技術(shù)在半導(dǎo)體工業(yè)和超精密加工領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用…

透過率材料應(yīng)力檢測
工業(yè)檢測
顯微鏡型相位差測量儀

適用于高相位差樣品的顯微表征，針對鋼化玻璃和光學(xué)薄膜剖面的殘余應(yīng)力評估…

工業(yè)檢測
雙折射測量儀PA-300-XL

PA系列雙折射測量范圍達0-130nm，可以測量的樣品視野范圍從幾個毫米到近500毫米…

工業(yè)檢測
殘余應(yīng)力測量系統(tǒng) WPA-200-L

應(yīng)力雙折射儀采用偏振光電矢量合成及光學(xué)補償原理，通過對樣品的光程差的定量測定…

內(nèi)周面形貌測量儀
可定制加工過程檢測
工業(yè)檢測
內(nèi)表面形貌表征測量儀

NMH-02 非接觸式內(nèi)表面表征測量儀，利用近紅外光學(xué)干涉實現(xiàn)內(nèi)周面可視化…

工業(yè)檢測
時間分辨檢測LIBS系統(tǒng)

種短脈沖產(chǎn)生微弱發(fā)射；對于傳統(tǒng)CCD而言，通過連續(xù)信號傳輸是非常困難的…

工業(yè)檢測
飛秒激光直寫原位檢測OCT系統(tǒng)

頻域 OCT-將頻域 OCT 應(yīng)用在激光直寫技術(shù)中，證明了頻域 OCT 在技工過程中可以對 3D 樣品實現(xiàn)…

太赫茲無損檢測
工業(yè)檢測
太赫茲成像掃描儀

具有每秒 5000 幀的前所未有的成像速度，并且易于集成到任何工業(yè)流程中。太赫茲成像掃描…