晶圓自動缺陷檢測系統 → 高倍率缺陷檢查 → 一機無縫實現 3D 形狀測量；基于共焦光學…
日本Elionix納米壓痕儀ENT-5，適應于0.5uN-2000mN廣泛的材料硬度測量…
三維形貌測量儀NH系列，使用激光自動對焦技術在半導體工業和超精密加工領域得到廣泛應用…
適用于高相位差樣品的顯微表征，針對鋼化玻璃和光學薄膜剖面的殘余應力評估…
PA系列雙折射測量范圍達0-130nm，可以測量的樣品視野范圍從幾個毫米到近500毫米…
應力雙折射儀采用偏振光電矢量合成及光學補償原理，通過對樣品的光程差的定量測定…
NMH-02 非接觸式內表面表征測量儀，利用近紅外光學干涉實現內周面可視化…
種短脈沖產生微弱發射；對于傳統CCD而言，通過連續信號傳輸是非常困難的…
頻域 OCT-將頻域 OCT 應用在激光直寫技術中，證明了頻域 OCT 在技工過程中可以對 3D 樣品實現…
具有每秒 5000 幀的前所未有的成像速度，并且易于集成到任何工業流程中。太赫茲成像掃描…
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